جدید سیمی کنڈکٹر مینوفیکچرنگ کے عمل میں، ویفر روبوٹس، کلیدی آلات میں سے ایک کے طور پر، اہم کردار ادا کرتے ہیں۔ ویفر روبوٹ بنیادی طور پر ویفر ہینڈلنگ، چھانٹنے اور پروسیسنگ کے لیے استعمال ہوتے ہیں، اور ان کی درستگی اور کارکردگی سیمی کنڈکٹر کی پیداوار کی مجموعی کارکردگی اور پیداوار کو براہ راست متاثر کرتی ہے۔ ویفر روبوٹ کی ساخت اور کام کے اصول مندرجہ ذیل ہیں:
ساخت
1.روبوٹک بازو: ویفر روبوٹس کے روبوٹک بازو کو عام طور پر متعدد محوروں کے ساتھ ڈیزائن کیا جاتا ہے تاکہ تحریک کی آزادی کی اعلیٰ ڈگری حاصل کی جا سکے۔ روبوٹک ہتھیاروں کی عام اقسام میں SCARA اور Cartesian روبوٹ شامل ہیں۔
2. اینڈ انفیکٹر: یہ وہ حصہ ہے جو ویفر سے براہ راست رابطہ کرتا ہے اور اسے پکڑتا ہے، عام طور پر ویکیوم سکشن کپ یا مکینیکل فکسچر کے طور پر ڈیزائن کیا جاتا ہے تاکہ یہ یقینی بنایا جا سکے کہ ویفر مستحکم ہے اور ہینڈلنگ کے دوران اسے نقصان نہیں پہنچا ہے۔
3. موشن کنٹرول سسٹم: سروو موٹر اور ڈرائیو سمیت، جو روبوٹک بازو کی نقل و حرکت کو کنٹرول کرنے کے لیے استعمال کیا جاتا ہے تاکہ درست پوزیشننگ اور ہموار آپریشن کو یقینی بنایا جا سکے۔
4. سینسر: ویفر کی پوزیشن، سائز اور حیثیت کا پتہ لگانے کے لیے استعمال کیا جاتا ہے، عام سینسر کی اقسام میں فوٹو الیکٹرک سینسر اور لیزر سینسر شامل ہیں۔
5. کنٹرول سسٹم: پروگرامنگ اور روبوٹ کے آپریشن کو کنٹرول کرنے کے لیے کنٹرولر اور سافٹ ویئر سمیت۔ زیادہ سے زیادہ راستے کی منصوبہ بندی اور غلطی کو درست کرنے کے لیے کنٹرول سسٹم اکثر جدید الگورتھم کو مربوط کرتے ہیں۔
یہ کیسے کام کرتا ہے
1۔ابتدائی اور پوزیشننگ: روبوٹ سینسر کے ذریعے اپنی اور ٹارگٹ ویفر کی پوزیشن کا تعین کرتا ہے۔ کنٹرول سسٹم روبوٹک بازو کی پوزیشن کو شروع کرتا ہے اور اسے سنبھالنے کے کام کو انجام دینے کے لیے تیار کرتا ہے۔
2. ویفر کو پکڑو: کنٹرول سسٹم کی ہدایات کے مطابق، روبوٹک بازو اس پوزیشن پر چلا جاتا ہے جہاں ویفر واقع ہوتا ہے۔ اختتامی اثر ویفر کو ویکیوم سکشن کپ یا مکینیکل گرپر کے ذریعے پکڑتا ہے تاکہ یہ یقینی بنایا جا سکے کہ ویفر مستحکم ہے اور اسے نقصان نہیں پہنچا ہے۔
3. ویفر ہینڈلنگ: روبوٹک بازو ویفر کو پہلے سے طے شدہ راستے پر ہدف کے مقام تک پہنچاتا ہے۔ اس عمل کے دوران، موشن کنٹرول سسٹم اس بات کو یقینی بناتا ہے کہ روبوٹک بازو آسانی سے حرکت کرے اور ویفر کو جھٹکا یا کمپن نہ ہو۔
4. ویفر پلیسمنٹ: روبوٹک بازو ویفر کو ٹھیک ٹھیک ہدف کی پوزیشن پر رکھے گا، اور اینڈ انفیکٹر ہینڈلنگ کے کام کو مکمل کرنے کے لیے ویفر کو ڈھیلا کر دے گا۔
5. ابتدائی پوزیشن پر واپس جائیں: روبوٹک بازو ابتدائی پوزیشن پر واپس آجاتا ہے اور اگلا ہینڈلنگ کام انجام دینے کے لیے تیار ہے۔
آخر میں، ویفر روبوٹ سیمی کنڈکٹر مینوفیکچرنگ میں اہم کردار ادا کرتے ہیں، اور ان کی اعلیٰ درستگی اور کارکردگی انہیں سیمی کنڈکٹر مینوفیکچرنگ کے عمل میں ناگزیر سامان بناتی ہے۔
